潔凈棚級別和級別-潔凈棚及相關(guān)受控自然環(huán)境 第1一部分：空氣潔凈度等級

引   言
潔凈棚及相關(guān)受控自然環(huán)境將空氣飄浮顆粒操縱在恰當(dāng)?shù)乃疁?zhǔn) ，便于進(jìn)行對環(huán)境污染比較敏感的主題活動(dòng) 。航空公司航 天 、微電子技術(shù) 、制藥業(yè) 、醫(yī)療設(shè)備、食品類 、醫(yī)療服務(wù)等領(lǐng)域的設(shè)備和加工工藝獲益于對飄浮污染物質(zhì)的操縱 。
GB/T 25915 的本一部分要求的 ISO 級別 ，可做為潔凈棚及相關(guān)受控自然環(huán)境內(nèi)空氣潔凈度等級的工藝標(biāo)準(zhǔn) 。 這兒不但要求了測量空氣飄浮顆粒濃度值的技術(shù)規(guī)范 ，也規(guī)范了標(biāo)準(zhǔn)的檢驗(yàn)方式 。
本一部分為顆粒濃度值限制值限制了粒度范疇 ?？砂幢疽徊糠纸o予的規(guī)范程序 ，依據(jù)低于或超過級別關(guān)心 粒度的空氣飄浮顆粒濃度值，明確潔凈度等級的水準(zhǔn) 。
本一部分是潔凈棚和環(huán)境污染操縱系列產(chǎn)品標(biāo)淮中的一個(gè) 。除空氣飄浮顆粒濃度值外 ，在潔凈棚和別的受控環(huán) 境的設(shè)計(jì)方案 、技術(shù)性標(biāo)準(zhǔn) 、運(yùn)作及管理方法中也有很多原因需要考慮到 。在本規(guī)范的其余一部分中 ，有這方面的詳盡 內(nèi)嚇
有一些場所，相關(guān)監(jiān)督機(jī)構(gòu)很有可能會要求補(bǔ)充性的制度或限定 。碰到這樣的事情 ，很有可能必須對規(guī)范檢驗(yàn)方 法開展適度調(diào)節(jié) 。

潔凈棚及相關(guān)受控自然環(huán)境第 1 一部分 ：空氣潔凈度等級
1范疇
 GB/T25915 的本一部分區(qū)劃潔凈棚及相關(guān)受控自然環(huán)境的空氣潔凈度等級僅根據(jù)其中的空氣飄浮顆粒濃度值，，，
該濃度通常是指粒度大于或等于閥值（下限）粒度的顆粒數(shù)量，要求的闊值（下限）粒度為 0. 1 μm-5 μm?？偛课撮_設(shè) 0. 1μm-5 μm 要求粒度之外顆粒數(shù)量的潔凈度等級 。但可以用 U 描述符和 M 描述符，各自描述超微主板顆粒 （5 μm）的數(shù)量。本一部分不可以用以敘述空氣飄浮顆粒的物理學(xué)、有機(jī)化學(xué)、放射性物質(zhì)或生存特點(diǎn)。
注 ：大于或等于某粒度的微粒濃度值具體遍布一般難以預(yù)料，且通常是隨時(shí)長變動(dòng)的。

2專業(yè)術(shù)語和界定

以下專業(yè)術(shù)語和界定適用本文檔 。
2. 1一般
 2. 1.1
潔凈棚cleanroom
空氣飄浮顆粒濃度值受控的棚間 ，其修建和應(yīng)用方法使棚間內(nèi)進(jìn)到的 、造成的 、停留的顆粒至少，棚間 內(nèi)溫度、環(huán)境濕度、工作壓力等別的相關(guān)主要參數(shù)按要求受控 。
2. 1. 2
潔凈棚clean zone
空氣飄浮顆粒濃度值受控的專用型室內(nèi)空間，其修建和應(yīng)用方法使棚里進(jìn)到的 、造成的 、停留的顆粒至少 ，棚 內(nèi)溫度、環(huán)境濕度 、工作壓力等別的相關(guān)主要參數(shù)按要求受控 。
注 ：潔凈棚可以是開放的或封閉式的，可在也并不在潔凈棚內(nèi) 。
2. 1. 3
設(shè)備installation
全部相關(guān)建筑物 、空氣解決系統(tǒng)軟件及其服務(wù)項(xiàng)目 、公共系統(tǒng)的潔凈棚，或一個(gè)或多個(gè)那樣的潔凈棚 。
2. 1. 4
潔凈度等級classification
潔凈度等級分類classification
以 ISO N 級表明的 、潔凈棚或潔凈棚內(nèi)按空氣飄浮顆粒濃度值區(qū)劃的潔凈度等級水準(zhǔn)（或要求 、明確該水 平的全過程） 。潔凈度等級意味著關(guān)心粒度顆粒的較大允許濃度（表明為每立方空氣中的顆粒數(shù)量） 。
注 1 ：濃度計(jì)算見 3. 2 的式(1） 。
注 2 ：本一部分級別的范疇僅限于 ISO 1 級-ISO 9 級。
注 3 ：本部位的級別關(guān)心粒度僅限于 0.1 μm   5 μm 范疇（較低閥值） 。特定閥值粒度超過此范疇的空氣潔凈度等級 ，可以用 U 描述符和 M 描述符（見 2. 3. 1 和 2. 3. 2 ）敘述和表明（但不等級分類） 。
注 4 : ISO 級別可帶小數(shù)，最少增加量為 0.1，ISO 1. 1 級-ISO 8. 9 級。
注 5 ：潔凈度等級可適用全部 3 種占有情況

2. 2空氣飄浮顆粒
2. 2. 1
粒子particle
其粒度閥值（最低值）在 0. 1 μm5 μm 范疇的 、總計(jì)的固態(tài)或液態(tài)化學(xué)物質(zhì) 。

2. 2. 2
粒度particle size
給出粒度檢測儀器得出的 、與被測顆粒的回應(yīng)量非常的球型體直徑 。
注 2 離散變量粒子計(jì)數(shù)器得出的是劑量電子光學(xué)直徑 。

2. 2. 3
顆粒濃度值particle concentration
企業(yè)容積空氣中顆粒的數(shù)量 。

2. 2. 4
粒度遍布particle size distribution
顆粒按粒度尺寸總計(jì)得到的微粒濃度值 。

2. 2. 5
超微主板顆粒ultrafine particle
當(dāng)量直徑低于 0. 1 μm 的顆粒。

2. 2. 6
大粒子macroparticle
當(dāng)量直徑超過 5 μm 的顆粒。

2. 2. 7
化學(xué)纖維fiber
（寬度〉 比不小于 10 的顆粒。

2. 3描述符
2. 3. 1
U 描述符U descriptor
包含超微主板顆粒以內(nèi)的 、每立方空氣顆粒的評測或要求濃度值 。
注 ：U描述符可以做為取樣點(diǎn)均值濃度值的限制（或相信限制 ，該相信限制依潔凈棚或潔凈棚特性鑒定取樣點(diǎn)總數(shù)而 定） 。不能用 U描述符明確空氣潔凈度等級 ，但可以將其獨(dú)立或隨潔凈度等級引述 。
2. 3. 2
M 描述符M descriptor
每立方空氣中大顆粒的評測或要求濃度值 。M 描述符中的劑量粒度與測量法相關(guān) 。
注 ：M 描述符可以做為取樣點(diǎn)均值濃度值限制（或相信限制 ，該值依潔凈棚或潔凈棚特性鑒定取樣點(diǎn)總數(shù)而定） 。不 能用U描述符明確空氣潔凈度等級 ，但可以將其獨(dú)立或隨潔凈度等級引述 。

2. 4占有情況
2. 4. 1
空態(tài)as-built
設(shè)備已完工并運(yùn)作，但沒有生產(chǎn)設(shè)備 、原材料和工作人員的情況。

2. 4. 2
靜態(tài)數(shù)據(jù)at-rest
設(shè)備已完工 ，生產(chǎn)設(shè)備已安裝好并按買方與供貨方商議的標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)作 ，但沒有工作人員的情況 。 
2. 4. 3
動(dòng)態(tài)性operational
設(shè)備按照規(guī)定方法運(yùn)作 ，其中要求數(shù)目的工作人員按商議方法工作中的情況 。
2.5相關(guān)多方
2. 5. 1
買方customer
要求潔凈棚或潔凈棚實(shí)際規(guī)定的組織或其代理商 。
2. 5. 2
供貨方supplier
使?jié)崈襞锘驖崈襞镒龅揭?guī)范標(biāo)準(zhǔn)的組織 。

3級別
3. 1占有情況
潔凈棚或潔凈棚的潔凈度等級 ，應(yīng)按一種或幾類占有情況明確 ，即：“空態(tài)”、“靜態(tài)數(shù)據(jù)” 、“動(dòng)態(tài)性”（見 2. 的。
注 ：“空態(tài)”檢驗(yàn)適用新完工或新更新改造的潔凈棚或潔凈棚 。完成了“空態(tài)”檢驗(yàn)后，應(yīng)開展“靜態(tài)數(shù)據(jù)”或“動(dòng)態(tài)性”或這二者的達(dá)級檢驗(yàn) 。
3. 2級別序號
空氣潔凈度等級以級別序號 N 表明 。每一種關(guān)心粒度 D 的最高容許顆粒濃度值 c. 由式(1） 明確 ：
式中
Cn 一一大于或等于關(guān)心粒度的顆粒較大允許濃度（以每立方空氣中顆粒的數(shù)量表明），  將Cn 修 約為不超過 3 位有效數(shù)字的整數(shù)金額 ；
N   一ISO 級別的數(shù)字編號 ，較大不超過 9 。N 的各整數(shù)金額級別中間可以設(shè)置最少增加量為 0. 1 的中 間級別；
D一一關(guān)心粒度，企業(yè)為μm（ μm) ;
0. 1 一一參量，企業(yè)為μm（ μm） 。
表 1 得出了空氣潔凈度等級的整數(shù)金額級別以及相對應(yīng)的關(guān)心粒度及以上的顆粒允許濃度 。圖 A. 1（ 見
附則 A）以詳解表明整數(shù)金額級別 。發(fā)生異議時(shí)，要以式 (1）測算出的濃度值 Cn 為標(biāo)準(zhǔn)。
潔凈度等級標(biāo)準(zhǔn)表

3. 3級別的表述
描述潔凈棚及潔凈棚空氣的潔凈度等級 ，應(yīng)包括以下幾點(diǎn) ：
a)以 ISO N級表明的級別 ；
b)等級對應(yīng)的占有情況 ；
c)級別的關(guān)心粒度及其由式 (1） 明確的相對應(yīng)濃度值 ，且每一個(gè)關(guān)心粒度閥值均在 0. 1 μm-5μm 范 圍內(nèi)。
實(shí)例:
ISO 4 級；動(dòng)態(tài)性 關(guān)心粒度O. 2 μm(2 370 個(gè)/m3）；1 μm(83 各個(gè)/m3)。
買方與供貨方彼此應(yīng)商談濃度值精確測量中所使用的一個(gè)或好幾個(gè)關(guān)心粒度 。
假如精確測量的關(guān)心粒度不只一個(gè)，則鄰近兩粒度中的大者〈如 D，） 與小點(diǎn)的叫日 D，）之比不可低于 1. 5 倍，即：


4級別的確認(rèn)
4. 1基本原理
依據(jù)買方與供貨方的協(xié)議書 ，執(zhí)行要求的檢驗(yàn) ，并給予要求的檢驗(yàn)結(jié)果和檢驗(yàn)情況的文檔 ，來認(rèn)證設(shè)備 合乎買方要求的空氣潔凈度等級 (ISO 級別）規(guī)定 。
4. 2檢驗(yàn)
附則 B 得出了達(dá)級認(rèn)證的標(biāo)準(zhǔn)檢驗(yàn)方式 。還可以應(yīng)用別的精確度相比的方式 。如未找到或商議 別的檢驗(yàn)方式，則應(yīng)應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)檢驗(yàn)方式 。
達(dá)級檢測中應(yīng)應(yīng)用經(jīng)校正的儀器設(shè)備 。
4. 3空氣飄浮顆粒濃度值限制值
按 4. 2 進(jìn)行檢驗(yàn)后，按附則 C 中的計(jì)算公式顆粒均值濃度值和 95 % 相信限制（適用時(shí)） 。
按式（C. 1）測算出的關(guān)心粒度［見 3. 3c）］的顆粒均值濃度值 ，不能超過按 3. 2 新中式(1） 測算出的濃度 限值。
除此之外 ，若采樣點(diǎn)的總數(shù)不少于 2 且不超過 9，則按 c. 3 要求測算出的 95 % 相信限制，不能超過上邊
測算的濃度限值 。
注 ：附則 D提供了級別測算案例 。
粒子濃度用以判斷與等級分類限值的一致性時(shí) ，對全部關(guān)心粒度的濃度精確測量都應(yīng)選用 同一種方式。
4. 4檢測匯報(bào)
以綜合性匯報(bào)的方式紀(jì)錄并遞交各潔凈棚和潔凈棚的檢測結(jié)果 ，匯報(bào)中應(yīng)申明檢測結(jié)果是不是超過規(guī) 定的氣體潔凈室等級 。
檢測匯報(bào)應(yīng)包含以下內(nèi)容 ：
的檢測組織的名字 、詳細(xì)地址 、檢測日期 ；
b)本部位的國家行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)序號 ，即 GB/T 25915. 1 - 2010 。
c)清晰標(biāo)出測定潔凈棚或潔凈棚的具體地址（必需時(shí)以相鄰棚域作參考），并標(biāo)明全部采樣點(diǎn)的 實(shí)際座標(biāo) ；
d)為潔凈棚或潔凈棚所明文規(guī)定的規(guī)范 ，包含 ISO 級別 ，相對應(yīng)的占有情況，關(guān)心粒度 ；
e)常用檢測方式的詳細(xì)描述，包含獨(dú)特的檢測標(biāo)準(zhǔn)及其與要求檢測方式的偏移之處；檢測儀器設(shè)備的型號規(guī)格，儀器設(shè)備全新的校準(zhǔn)證書 ；
f)檢測結(jié)果，包含每一個(gè)采樣點(diǎn)的坐標(biāo)系和粒子濃度數(shù)據(jù)信息 。
注 2   若按附則 E 的表明描述了超微主板位置或大粒子的濃度量，則檢測匯報(bào)中就應(yīng)包括相對應(yīng)信息內(nèi)容 。

附則A
（資料性附錄）
潔凈室等級表 1 的圈示
圖 A. l 是表 1氣體潔凈室等級的圖例 ，僅起表明功效 。表 1的 ISO 級別在圖上以平行線表明 ，平行線意味著關(guān)心粒度閥值所相應(yīng)的級別濃度限值 。這種限值是依據(jù) 3. 2 中的式(1） 測算獲得 。而圖上的平行線 僅僅級別限值的一種類似表明 ，不可以為此明確限值，確定限值仍應(yīng)用式 ） 。
圖上的實(shí)心點(diǎn)相匹配的是每一個(gè) ISO 級別粒度閥值的最高和極小值 ，因而，級別線不可以拓寬至實(shí)心點(diǎn) 以外 。
級別線不意味著潔凈棚和潔凈棚內(nèi)粒度的具體遍布 。


附則B
（規(guī)范化附則） 選用光透射離散變量粒子計(jì)數(shù)
測量粒子潔凈室等級
B. 1基本原理
應(yīng)用光透射離散變量粒子計(jì)數(shù) ，在規(guī)定的采樣點(diǎn)，測量大于或等于關(guān)心粒度的氣體飄浮粒子濃度 。
B. 2儀器設(shè)備規(guī)定
B. 2. 1粒子計(jì)數(shù)
離散變量粒子計(jì)數(shù) CDPC） 是一種光透射精確測量設(shè)備 ，可以表明或紀(jì)錄空氣中離散變量粒子的總量和粒度 ：具 有粒徑鑒別力 ，可在有關(guān)潔凈室等級所涉及到的粒度范疇內(nèi)測量粒子總濃度 ；并含有一套適合的采樣 系統(tǒng)軟件。
B. 2. 2儀器校正
儀器設(shè)備應(yīng)具備合理的校準(zhǔn)證書 ；校正頻率和校正方式應(yīng)滿足現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)可的規(guī)范和標(biāo)準(zhǔn) 。
B 3   預(yù)檢測條件
B. 3. 1檢測提前準(zhǔn)備
檢測前 ，先認(rèn)證潔凈棚或潔凈棚總體運(yùn)作的各個(gè)領(lǐng)域均正常的元誤   ，合乎特性規(guī)定 。 預(yù)檢測工作中可包含如 z
a)排風(fēng)量或風(fēng)力檢測 ；
b)氣體壓力差檢測 ；
c)密封性檢測 ；
d)已裝過濾裝置的測漏。
B. 3. 2預(yù)檢測常用儀器設(shè)備的設(shè)定 依照廠家的表明設(shè)定并調(diào)準(zhǔn)儀器設(shè)備 。
B. 4采樣
B. 4. 1明確采樣點(diǎn)部位
B. 4. 1. 1按式CB. 1） 求出至少采樣點(diǎn)總數(shù) ：


B. 4. 1. 2

保證采樣點(diǎn)在全部潔凈棚或潔凈棚內(nèi)聯(lián)合分布 ，并坐落于工作臺面相對高度 。 若買方要求了 額外的采樣點(diǎn)，解決新增加采樣點(diǎn)的數(shù)量和部位作出要求 。 注 ：額外采樣點(diǎn)可坐落于按風(fēng)險(xiǎn)評估得到的重要部位 。

B. 4. 2明確各采樣點(diǎn)的一次采樣量 
B. 4. 2. 1

若關(guān)心粒度的較大粒子濃度處在特定 ISO 級別的濃度限制 ，則在每一個(gè)采樣點(diǎn)要收集足夠檢測出不 低于 20 顆粒子的氣量。
由式




B. 4. 2. 2
每一個(gè)采樣點(diǎn)的采樣量不可低于 2 L，采樣時(shí)間不能低于 1 min 。
B. 4. 3采樣技術(shù)規(guī)范
B. 4. 3. 1
按生產(chǎn)商的詳細(xì)說明和儀器校正資格證書設(shè)定粒子計(jì)數(shù) CB. 2. 1) 。
B. 4. 3. 2
采樣攝像頭應(yīng)偏向氣旋 。若采樣點(diǎn)處氣旋方位未可控或不能預(yù)測分析（ 例如非單方面流） ，則采樣攝像頭的進(jìn) 出氣口應(yīng)豎直往上 。
B. 4. 3. 3
在每一個(gè)采樣點(diǎn)按 B. 4. 2 明確的最少采樣量采樣 。
B. 4. 3. 4
當(dāng)僅必須一個(gè)采樣點(diǎn)時(shí) CB. 4. D ，則在該點(diǎn)至少開展三次采樣 。
B. 5紀(jì)錄結(jié)果
B. 5. 1各采樣點(diǎn)的均值粒子濃度
B. 5. 1. 1
紀(jì)錄下有關(guān)氣體潔凈室等級的每一個(gè)關(guān)心粒度（ 3. 3）粒子的一次采樣濃度 。
注 ：在預(yù)估95% 相信限制以前，應(yīng)先考慮到 B. 6. 1 的規(guī)定。
B. 5. 1. 2
當(dāng)只有一個(gè)采樣點(diǎn)時(shí) ，測算每一個(gè)關(guān)心粒度采樣數(shù)據(jù)信息 
B. 5. 1. 3
當(dāng)在一個(gè)采樣點(diǎn)上開展 2 次或 2 次以上的采樣時(shí)，依照 c. 2 中給定的技術(shù)規(guī)范 ，從各次采樣 CB. 5. 1. 1)
測算出每一個(gè)關(guān)心粒度的粒子均值濃度 ，并紀(jì)錄結(jié)果 。
B. 5. 295% 相信限制（ UCL） 的估算規(guī)定
B. 5. 2. 1
當(dāng)采樣點(diǎn)總數(shù)不只 1 個(gè)且不上 10 個(gè)時(shí) ，依照 c. 3 中給定的技術(shù)規(guī)范 ，以全部各點(diǎn)的均值粒子濃 度
CB. 5. 1)測算總均值 、標(biāo)準(zhǔn)偏差和 95 % 相信限制 。
B. 5. 2. 2
當(dāng)采樣點(diǎn)僅有 1個(gè)或超過9 個(gè)時(shí) ，不用測算 95 % 相信限制 。
B. 6數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析
B. 6. 1等級分類規(guī)定
若每一個(gè)采樣點(diǎn)測出的粒子濃度均值 ，及其適用時(shí)按 B. 5. 2 測算的 95 % 相信限制，均未超出按 3. 2
新中式(1） 明確的濃度限值 ，則覺得該潔凈棚或潔凈棚做到要求的氣體潔凈室等級 。 若檢測結(jié)果無法達(dá)到要求的氣體潔凈室等級 ，可新增加聯(lián)合分布的采樣點(diǎn)開展檢測 。再次數(shù)值
時(shí)，除開包括新采樣點(diǎn)的數(shù)據(jù)信息外 ，還應(yīng)包含原來采樣點(diǎn)的全部數(shù)據(jù)信息 。（www.sxstgroup.com）對包含新采樣點(diǎn)以內(nèi)的信息開展的 再次測算，其效果是無法改變的 。
B. 6. 2出現(xiàn)異常值的解決
95 % 相信限制（ UCL) 的數(shù)值，很有可能未超過要求的 ISO 級別 。假如未達(dá)級是精確測量錯(cuò)漏（因?yàn)椴?作錯(cuò)漏或機(jī)器設(shè)備異?！刀禄蛘吡Ｗ訚舛瘸霈F(xiàn)異常低（因?yàn)槟承y量點(diǎn)氣體出現(xiàn)異常清潔） 而造成的單獨(dú)非任意異 常值而致，則該值可以不計(jì)入 ，標(biāo)準(zhǔn)是z
a)再次測算時(shí)包含全部剩下采樣點(diǎn)的數(shù)據(jù)信息   z
b)測算中起碼也有 3 個(gè)精確測量值 ；
c)測算中不計(jì)入的精確測量值不能超過 1個(gè) ；
d)紀(jì)錄導(dǎo)致精確測量錯(cuò)漏或低粒子濃度的異常緣故 ，并獲得甲乙雙方的認(rèn)同 。
注 ：依所測清潔設(shè)備的運(yùn)用特性，各采樣點(diǎn)粒子濃度非常大的不同可能是有效的 ，乃至是有心而為 。
附則C
（規(guī)范化附則）
粒子濃度數(shù)據(jù)信息的統(tǒng)計(jì)分析解決
c. 1細(xì)則
數(shù)據(jù)分析中只考慮到隨機(jī)偏差（精密度不夠） ，不考慮到非隨機(jī)偏差（如，校正偏差導(dǎo)致的誤差） 。

附則E
（資料性附錄） 超過分類粒度閥值范疇的粒子計(jì)徑和記數(shù)
E. 1基本原理
在一些涉及到特殊加工工藝規(guī)定的情形下，可按等級分類粒度闊值范疇以外的粒子濃度此外要求氣體潔凈度等級 的水準(zhǔn)。這類粒子的最高容許濃度和相對應(yīng)的檢測方式由買方與供貨方商議 。E. 2 （針對 U 描述符） 和 E. 3
（對于 M描述符）中表明了有關(guān)檢測方式和要求關(guān)系式 。 
E. 2低于 0. 1 μm 的粒子（超微主板粒子）一u 描述符
E. 2. 1運(yùn)用
假如必須評定低于 0. 1 μm 的粒子導(dǎo)致嚴(yán)重污染的風(fēng)險(xiǎn)性 ，就需要選用合乎這類粒子實(shí)際特點(diǎn)的采樣設(shè)備 和測量法 。
應(yīng)依照 B. 4. 1 明確采樣點(diǎn)總數(shù) ，最少采樣量 只應(yīng)是 2 L(B. 4. 2. 2 ） 。
E. 2. 2U 描述符關(guān)系式
可以直接選用 U描述符表明超微主板粒子濃度 ，也可將它做為氣體潔凈室等級的補(bǔ)充說明 。
U描述符用“U ( x ; y ） ”表明，在其中 z
z 一超微主板粒子的最高容許濃度（以每立方氣體超微主板粒子數(shù)量表明） ；
y 一一 以μm計(jì)的粒徑 ，適合的離散變量粒子計(jì)數(shù)在該粒徑點(diǎn)的粒子記數(shù)高效率為 50 % 。
例：粒徑范疇二三 0. 01 μm 、較大容許超微主板粒子濃度 140 000 個(gè)/m3可表達(dá)為“U040 000;0. 01 μm）”。
注 1 : IEST G-CC1002得出了低于 0. 1 μm 的飄浮粒子濃度的檢驗(yàn)方式 。
注 2 ：假如用U 描述符做為氣體潔凈室等級的補(bǔ)充說明 ，則超微主板粒子的濃度（叫不可低于對應(yīng)當(dāng) ISO 級別粒徑
0. 1 μm 的粒子濃度限制值（每立方粒子數(shù)量） 。
E. 3超過 5 μm 的粒子（大粒子）一M 描述符
E. 3. 1運(yùn)用
假如必須評定超過 5 μm 的粒子導(dǎo)致嚴(yán)重污染的風(fēng)險(xiǎn)性 ，就需要用合乎這類粒子實(shí)際特性的取樣設(shè)備和測 量方式 。
氣體飄浮粒子中的大粒子 般是以加工工藝自然環(huán)境中釋放出來的 ，因而，應(yīng)按照實(shí)際應(yīng)用狀況來明確適用的采 樣設(shè)備和測量法 。必須考量的關(guān)鍵因素有 ：粒子的相對密度 、樣子 、容積 、流體力學(xué)特性這些 。除此之外 ，很有可能還 必須特別關(guān)心總飄浮粒子中的特殊成分 ，如化學(xué)纖維 。
E. 3. 2M 描述符關(guān)系式
M描述符可以獨(dú)立引述，也可將它做為氣體潔凈室等級的補(bǔ)充說明 。M 描述符用“ M ( a ; b)   ; c”表 示，在其中 ：
a 一一大粒子的最高容許濃度（以每立方空氣中的大粒子數(shù)量表明） ；
b 一一與要求的大粒子測量法相匹配的當(dāng)量直徑（或直徑） (μm) ;
c 一一要求的測量法 。
注 ：假如取樣的飄浮粒子中富含化學(xué)纖維，則可以在 M 描述符上添一個(gè)化學(xué)纖維標(biāo)識，表明為“M奸維 （a   ;b)   ;c”。
實(shí)例 1 :
若應(yīng)用大氣氣溶膠航行時(shí)間粒子計(jì)數(shù) ，測量的粒子流體力學(xué)直徑＞ S μm 的粒子濃度為 10 000 個(gè)/m3，，則用 M 敘述 符表明為：
“M（1000；>5 μm）；大氣氣溶膠航行時(shí)間粒子計(jì)數(shù)” 。
實(shí)例 2:
若應(yīng)用高倍顯微鏡對多級別碰撞采樣器收集的粒子開展粒徑測量和記數(shù) ，測得 10 μm   - 20   μm 粒徑范疇的飄浮粒子濃度為1000個(gè)/m3 ，則用 M 描述符表明為：
“M（1000;10 μm -20  μm）；多級別碰撞采樣器，以高倍顯微鏡測量粒徑并記數(shù)飛
注 2: IEST-G-CC1003］ 中提供了超過5 μm的飄浮粒子濃度的檢驗(yàn)方式 。
注 3 ：如應(yīng)用M 描述符做為氣體潔凈室等級的補(bǔ)充說明 ，則大粒子濃度 （a ） 不可超過相匹配于該 ISO   級別的粒徑 5   μm的粒子濃度限制值（每立方粒子數(shù)量） 。
附則F
（資料性附錄） 條件隨機(jī)場采樣法
F. 1
環(huán)境和標(biāo)準(zhǔn)
F. 1. 1環(huán)境
若取樣環(huán)境危害度顯著超過或顯著低于要求級別中關(guān)心粒徑的粒子濃度限制值 ，選用條件隨機(jī)場采樣法 通?？纱蠓档腿恿亢筒蓸訒r(shí)間 。即使?jié)舛荣N近要求限制值時(shí) ，條件隨機(jī)場采樣法仍可節(jié)約一些勞動(dòng)量 。 當(dāng)預(yù)估氣體潔凈度等級為 ISO 4 級或更清潔時(shí)，條件隨機(jī)場采樣法最好 。
注 2   相關(guān)條件隨機(jī)場采樣法的詳細(xì)信息見 IEST-G-CCl 004.
F. 1. 2限定
條件隨機(jī)場采樣法的首要受限標(biāo)準(zhǔn)是 ：
a)此方法僅適用在要求級別或濃度限制值處對關(guān)心粒徑的每一次取樣目 標(biāo)數(shù)量為 20 顆粒子 。
b)每一次樣版精確測量都需要佐以檢測和數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析 ，可由電子計(jì)算機(jī)全自動(dòng)進(jìn)行 。
c)因?yàn)闂l件隨機(jī)場采樣法減少了取樣量，測到的粒子濃度比不上基本采樣法精準(zhǔn)   。

• 

• 

對一個(gè)要求取樣點(diǎn)開展氣體取樣時(shí) ，已經(jīng)總計(jì)的粒子數(shù)量不斷地與參考限制值開展較為 。該參考限 值是己收集氣量與要求總產(chǎn)量比為的函數(shù)公式 。若已經(jīng)總計(jì)的記數(shù)低于已采氣量相匹配的參考值最低值 ，則 覺得取樣氣體符合要求的級別或濃度限制值 ，因此停止取樣 。
若已經(jīng)總計(jì)的記數(shù)超過已采氣量相匹配的參考值限制 ，則取樣氣體不符合要求的級別或濃度限制值 ， 因此停止取樣 。只需已經(jīng)總計(jì)的記數(shù)仍處于上最低值中間 ，取樣就不斷，一直總計(jì)到完全的樣版 。
圖 F. l 中的 C 是評測記數(shù) ，它與 E 相對性應(yīng) ；E 是預(yù)估記數(shù) ，即假設(shè)關(guān)心粒徑的粒子濃度處于要求限 值處 、以一個(gè)完全的一次氣體取樣時(shí)間內(nèi)可收集到 20 顆粒子的速度（取樣量對采樣時(shí)間） 取樣時(shí)，能采 到粒子的記數(shù) 。
表 F. l 是另一種等效電路方式 。如表所顯示，將評測記數(shù) C 發(fā)生的時(shí)間段與精確測量詳細(xì)單獨(dú)樣版并列的時(shí)間 開展較為 。若記數(shù)產(chǎn)生的時(shí)間先于表格中左欄的并列時(shí)間 ，則所采氣體不符合要求限制值 z若記數(shù)產(chǎn)生時(shí)間 晚于表格中右欄的并列時(shí)間 ，則所采氣體達(dá)到要求限制值 。粒子的產(chǎn)生的時(shí)間與表格中的限制時(shí)間較多 必須進(jìn) 行 21 次較為。
F. 3取樣技術(shù)規(guī)范
F. 3. 1   條件隨機(jī)場取樣的參考值
伴隨著數(shù)據(jù)采集的過程判斷結(jié)果的比較分析法有二種 。累進(jìn)稅數(shù)據(jù)信息電子計(jì)算機(jī)統(tǒng)計(jì)分析方法不錯(cuò) ，并介紹應(yīng)用 。
F. 3. 2取樣對比圖
圖 F. l 表明出按式（ F. l)和式（F. 2 ） 設(shè)置的邊境線 ，這兩根邊境線在 E= 20 處斷開 ，這里意味著收集 一個(gè)詳細(xì)樣版需要的時(shí)間 ，C= 20 即是較大達(dá)標(biāo)評測記數(shù) 。
該圖繪制了粒子濃度精準(zhǔn)處于要求級別水準(zhǔn)時(shí) ，觀察記數(shù)與預(yù)估記數(shù)的對應(yīng)關(guān)系 。預(yù)估記數(shù)的增 加隨著著時(shí)間的流逝，E=20 表明粒子濃度處于級別限制值時(shí)總計(jì)到一個(gè)詳細(xì)取樣量所需的時(shí)間 。
依照圖 F. l 開展條件隨機(jī)場取樣的技術(shù)規(guī)范如下所示 ：
伴隨著取樣的開展，紀(jì)錄下做為時(shí)間函數(shù)的粒子記數(shù) ，并將該計(jì)數(shù)與圖 F. 1 的左右邊框線開展較為 。 若評測總計(jì)計(jì)標(biāo)值超出了上邊框線 ，則停止該取樣點(diǎn)的采樣，說明氣體不符合要求的級別限制值 。若評測累 計(jì)計(jì)標(biāo)值小于下邊框線 ，則停止該取樣點(diǎn)的采樣 ，說明氣體符合要求的級別限制值 。若評測總計(jì)值處在上 、 下邊框線中間，則再次開展取樣 。
若到規(guī)范的取樣時(shí)間完畢時(shí) ，總記數(shù)未超出 20，未超過上邊框線，可判斷氣體做到級別 。
F. 3. 3取樣一覽表
表 F. 1 得出另一種等效電路的條件隨機(jī)場采樣法 ，在其中的信息也是按式 C F. l)和式 C F. 2 ） 推算出來的。表格中的 時(shí)間 t 取值為 1. 000 0，意味著收集一個(gè)詳細(xì)樣版的時(shí)間范圍 。其樣本數(shù)即空氣中關(guān)心粒徑的粒子恰好處在 其級別限制值劑量濃度時(shí) ，測到 20 個(gè)粒子的必不可少量。表格中列出各時(shí)間數(shù)值一個(gè)詳細(xì)樣版需要總總計(jì)時(shí)間 的各并列一部分 。
按表 F. 1開展條件隨機(jī)場取樣的方式 如下所示 ：
伴隨著取樣的開展 ，紀(jì)錄粒子記數(shù)及產(chǎn)生的時(shí)間 ，將每一次評測到記數(shù)的時(shí)間段與表格中所顯示的2個(gè)時(shí)間欄 開展較為 。若一個(gè)評測記數(shù)總計(jì)值產(chǎn)生的時(shí)間先于表格中左邊時(shí)間欄標(biāo)出的并列時(shí)間   ，則停止取樣，匯報(bào) 氣體未超過要求的級別；若一個(gè)評測記數(shù)的合計(jì)值產(chǎn)生的時(shí)間段晚于表格中右邊時(shí)間欄標(biāo)出的并列時(shí)間，則 停止取樣 ，匯報(bào)氣體做到要求的級別 。若評測記數(shù)總計(jì)不斷發(fā)生在2個(gè)時(shí)間欄所顯示時(shí)間之間 ，則再次 取樣；若持續(xù)實(shí)現(xiàn)的 21 次較為中元一記數(shù)早于左欄的并列時(shí)間 ，則這一詳細(xì)樣版說明氣體做到要求 級別。